Collimator

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Cllimaotor是PVD(物理氣相沉積)腔體內放在靶材和晶圓間的一個零件，它的形狀像一蜂巢板，其目的是擋掉從靶材激發出來角度太大的粒子，使鍍膜的品質提高。

六邊形的蜂巢狀，他的邊對邊的寬度和他的深度比稱之為其深寛比(aspect ratio), 深寬比越大，擋掉的粒子越多，鍍膜品質越好，但沉積速度(Deposition rate)越慢。Collimator擋掉的粒子會沉積在蜂巢板上，其分佈是中心區域最多向外減緩，粒子的沉積使寬度(間隔)變小，也就是深寬比變大，造成中心區域的沉積速率較慢，鍍膜的均勻度變差； 當鍍膜均勻度差到一個規範，這個零件就不能再使用而需更換。這個零件使用期就稱為他的壽命(life time)。

Collimator這零件的lift time另一個因素是：粒子沉積在蜂巢板上越來越多，因附著力的關後最終會剝落(Peeling), 剝落就造成Particle、污染的問題。所以蜂巢板的表面粗糙度高附著力越大，壽命就越長。通常Collimator表面是熔射噴鉬的。

Collimator依其材料來分類有3種：

1. 鋁合金，經車、銑方式加工成形，這容易做，一般加工廠都有能力製造。
2. 鈦，鈦條經成形、焊接、噴砂、噴鉬、清洗等製程加工而成。
3. 不銹鋼，和鈦相同製程，但有的不噴鉬。

在這對鈦材料製作的collimator做個製造過程的介紹：
材料：鈦條，厚度0.4mm,寬度依深寬比不同，有15.88，19.85，23.8mm 等
製作步驟有：
1.  料條成形
2.  長度裁剪
3.  焊接（點焊spot）成形
4.  外徑修剪
5.  噴砂處理
6.  噴鉬
7· 清洗
8· 烘乾